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低温等离子净化器内部装有独特的碰吸单元-高压电场，截留去除废气中的颗粒物质，废气收集系统收集的多元素气体经过等离子活性氧净化装置，在高压等离子电场的作用下，电离初始态氧将其中的废气离子进行电离荷电净化，带电的微小离子(尘埃粒子)被吸附单元所收集并流入和沉积到气体处理装置的储尘箱内，气体内的有害气体被电场内所产生的臭氧所杀菌，并去除了异味，有害气体被除掉,达到废气处理的目的。
光氧等离子一体机工作原理：恶臭气体利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能C波光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的。
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